MEMS-Spiegel STMicroelectronics und OQmented entwickeln gemeinsam Laserscanner

Redakteur: Dipl.-Ing. (FH) Hendrik Härter

Der Halbleiterhersteller ST und der MEMS-Spezialist OQmented entwickeln, produzieren und vermarkten künftig gemeinsam Laserscanner. Die kompakten MEMS-Systeme sind vor allem für den Automobilbau interessant.

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MEMS-Spiegel: STMicroelectronics und OQmented entwickeln gemeinsam Laserscanner. Dank Vakuum-Versiegelung lassen sich die Scanner auch in Fahrzeugen einbauen.
MEMS-Spiegel: STMicroelectronics und OQmented entwickeln gemeinsam Laserscanner. Dank Vakuum-Versiegelung lassen sich die Scanner auch in Fahrzeugen einbauen.
(Bild: OQmented)

Scannerspiegel, resonant oder quasi-statisch betrieben, können in sehr kompakten Systemen das Licht gezielt ablenken. Jetzt haben sich zwei Partner zusammen getan, um Laserscanner auf Basis von MEMS-Spiegeln zu entwickeln, zu produzieren und zu vermarkten. STMicroelectronics und OQmented haben in einem Vertrag festgeschrieben, dass sie die Laserscanner-Technik für die Augmented-Reality- und den 3D-Sensing-Markt weiterentwickeln wollen. Mikro-Elektromechanischen Systeme

ST steuert sein Wissen an MEMS-Design- und Produktressourcen in die Zusammenarbeit ein. Von Seiten OQmented kommt die Bubble-MEMS-Technik: Ein patentiertes 3D-Glaskapselungsverfahren zur hermetischen Vakuum-Versiegelung der MEMS-Mikrospiegel. Dieses soll weiter entwickelt werden und in den industriellen Massenmarkt überführt werden. Dank des Versiegeln mit speziellen Glasblasen hält Verunreinigungen aus der Umgebung fern und senkt unerwünschte Refraktions-Effekte des Lichts.

Die Vakuum-Versiegelung ist vor allem bei Anwendungen im Fahrzeugbau von großer Bedeutung. Außerdem senkt die Technik den Energieverbrauch und steigert die Leistungsfähigkeit für resonante, biaxiale Scanner, bei denen sich die MEMS-Spiegel mit ihrer Resonanzfrequenz um beide Achsen bewegen. Es lassen sich sehr kompakte und energieeffiziente Scanner-Applikationen bauen. Die Resonanzspiegel eignen sich für Display- und 3D-Sensing-Anwendungen in mobilen Geräten.

Weitreichende Zusammenarbeit

Auf der Basis der Zusammenarbeit wollen ST und OQmented ein breites Spektrum an Scanning-Entwicklungen anbieten. Diese bestehen dann aus MEMS-Spiegeln, MEMS-Treibern und -Controllern sowie kompletten Referenzdesigns von Laserscanner-Engines für unterschiedliche Anwendungen. Weiterhin ist geplant, eine LBS-Roadmap auszuarbeiten sowie an künftigen technischen Entwicklungen zusammenzuarbeiten.

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