Halbleiterchip-Produktion Software beschleunigt Arbeit des parametrischen Testsystems

Für das parametrische Testsystem S530 von Keithley bietet Tektronix die Software KTE V7.1 an. Sie bietet verbesserte Funktionen und damit auch einen höheren Testdurchsatz.

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Halbleitertest: Für sein parametrisches Testsystem bietet Tektronix die Software KTE V7.1. Damit soll sich der Testdurchsatz steigern lassen.
Halbleitertest: Für sein parametrisches Testsystem bietet Tektronix die Software KTE V7.1. Damit soll sich der Testdurchsatz steigern lassen.
(Bild: Tektronix)

Analog- und Leistungshalbleiter-Techniken, einschließlich GaN und SiC, erfordern parametrisches Testen. Mit dem parametrischen Testsystem S530 von Keithley zusammen mit der Software KTE 7 lassen sich Prüflinge bis zu 200 V und mit der Hochspannungs-Version S530-HV bis 1.100 V an jedem Pin prüfen. Jetzt hat Tektronix eine neue Version der Software veröffentlicht: KTE V7.1. Laut Hersteller sollen sich die Testzeiten zur Version V5.8 um zehn Prozent verkürzen.

Angeheizt durch den Mobilfunkstandard 5G und dem Internet der Dinge steigt die globale Nachfrage nach Halbleitern. Weltweite Engpässe erfordern es, dass die Produktion von Halbleitern weiter steigt. Damit einher geht auch der steigende Test der Halbleiter.

Verbesserte Funktionen und mehr Durchsatz

„Die neuen analogen, Wide-Bandgap- (SiC- und GaN-) und Leistungshalbleitertechniken benötigen parametrische Tests, um die Messleistung zu erhöhen und dabei einen breiten Produktmix abzudecken“, sagt Peter Griffiths, General Manager, Systems & Software bei Tektronix.

Die neue Software-Version KTE V7.1 verbessert sowohl die Funktion als auch den Durchsatz, die das S530-System seit der Veröffentlichung von KTE 7.0 erreicht hat. Hinzu kommt das neue Prüfkopf-Design, welches dem Anwender mehr Flexibilität bietet und dabei unterschiedliche Prüfkopf-Karten bereitstellt.

Die aktualisierte Soft- und Hardware ermöglicht Single-Pass-Tests und hohen Durchsatz. Für den Service verkürzt die kürzlich vorgestellte System Reference Unit (SRU) die Kalibrierungszeit auf weniger als acht Stunden, so dass man eine Kalibrierung in einer regulären Arbeitsschicht abschließen kann. Die SRUs lassen sich direkt oder mit einem jährlichen SSO-Serviceplan erwerben.

Alle Verbesserungen im Überblick

  • paralleles Testen: Der S530 ist erstmals als Option in der Version KTE V7.1 erhältlich und bietet den Paralleltest. Damit lassen sich laut Hersteller die Testkosten mit einer geschätzten Einsparung von 30 Prozent (abhängig von Tests und Strukturen) senken. Auf Basis der Hardware-Architektur des S530 kann man bis zu acht hochauflösende SMUs über jeden beliebigen Kelvin-Port oder jede beliebige Reihe im System mit jedem Test-Pin verbinden.
  • Hochspannungs-Kapazitätstests: Hohe Spannungen sind für den Bauelemente-Test unabdingbar. Die Nachfrage nach Chips mit höheren Schaltgeschwindigkeiten und effizienteren Schaltvorgängen steigt. Dank höherer Effizienz reduziert sich der Stromverbrauch und die damit einhergehende Wärmeentwicklung. Für den Test dieser Bauteile mit breitem Bandabstand bei höheren Betriebsspannungen wechseln Ingenieure vom F&E-Labor in die Fertigung. Zusammen mit der Single-Pass-Prüfanwendung für Messungen zwischen 200 V und 1.000 V lassen sich Kapazitäten mit einer Vorspannung von bis zu 1.100 VDC prüfen. Es sind präzise Messungen von Cdg, Cgs und Cds sowie die Charakterisierung und Prüfung der transienten Eingangs- und Ausgangsleistung eines Leistungsbauteils möglich.
  • Tests mit bis zu 1.100 V: Es lassen sich nicht nur Spannungen bis 1.100 V speisen und messen, sondern auch bis zu zwei 2470 SMUs in einem S530-HV-System konfigurieren. Zudem kann der Anwender mit der Hochspannungs-Schaltmatrix des S530-HV die Messungen jederzeit an jedem Testpin durchführen. Außerdem entfallen Durchsatzverzögerungen.

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