Halbleiterfertigung/Sensoren

Neuer Foundryservice für Drei-Achsen-Inertialsensoren von X-FAB

| Redakteur: Gerd Kucera

Mehr als 1 Mrd. MEMS-Elemente hat X-FAB Silicon Foundries bis heute ausgeliefert. Jetzt gibt es den weltweit ersten frei verfügbaren 3-Achsen-Inertialsensorenprozess.

Aufgrund des neuen Foundryprozesses können Unternehmen ihr eigenes Design oder Entwicklungen von X-FAB-Designpartner nutzen, um ohne langwierige und teure Prozessentwicklung ihre Wafer in großen Stückzahlen fertigen zu lassen“, konstatiert Thomas Hartung, Vice President Marketing bei X-FAB in Dresden, „unser Open-Platform-Prozess ermöglicht eine schnelle Marktreife und garantiert die Herstellung von Inertialsensoren höchster Qualität.“

Die neue MEMS-Technologie eignet sich für ein breites Spektrum von 3D-Beschleunigungssensoren oder Gyroskopen, die zum Beispiel in den Bereichen Mobilgeräte, Konsumgüter, Spiele und Spielwaren, Automobilindustrie, Robotik, industrielle und medizinische Geräte zur Anwendung kommen. Mit dem gleichen Prozess können auch ein- und zweiachsige Sensoren realisiert werden, wobei sich Beschleunigungssensoren und Gyroskope nebeneinander auf einem einzigen, mit dem gleichen Prozess hergestellten Chip, platzieren lassen. Die neue Technologie ermöglicht die Fertigung einer inertialen Messeinheit (IMU) mit sechs Freiheitsgraden, was bisher nur unter Verwendung von mehreren separaten Sensoren möglich war.

„Die Open Platform-Prozesse von X-FAB eröffnen eine neue Ära für die MEMS-Industrie“, sagt Iain Rutherford, MEMS Business Line Manager bei X-FAB, „damit läuten wir einen Paradigmenwechsel ein und zwar von der vorherrschenden Ein-Produkt-ein-Prozess-Philosophie hin zum Open-Platform-Ansatz, um allen Unternehmen Zugang zu einem wettbewerbsfähigen Prozess zu bieten, der für zahlreiche Anwendungen genutzt werden kann. So können unsere Kunden ihre Ziele in Rekordzeit realisieren.“

Mit dieser neuen Technologie lassen sich träge Massen und Kammantriebe aus einkristallinem Silizium mit geringer Anfälligkeit für elektromagnetische Störungen hergestellen. Durch die patentierte Trench-Technologie, die das Kreuzen von Leiterbahnen trotz Verwendung von nur einer Metalllage ermöglicht, werden parasitäre Kapazitäten auf ein Minimum reduziert. Der 3D-Inertialsensorprozess ergänzt X-FABs etablierte Open-Platform-Prozesse für 1D/2D-Inertialsensoren, Drucksensoren und Infrarot-Thermoelemente, die X-FABs Kunden seit 2003 verwenden. Weiterhin werden verifizierte IP-Blöcke für 2G-, 10G- und 100G-Beschleunigungssensoren angeboten. Die mehrstufige Entwicklungsmethodik stellt sicher, dass die neue 3D-Inertialsensortechnologie charakterisiert und stabil ist und eine hohe Ausbeute liefert. Alle Fertigungsstätten von X-FAB sind ISO 9001- und ISO

TS16949-zertifiziert. Die Technologie steht ab sofort für die Entwurfsphase und erste Prototypenherstellung zur Verfügung. Endgültige Designregeln und die vollständige Qualifizierung folgen Anfang 2013.

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