EMV-Test

Modulares System für IC-Oberflächen

14.01.2008 | Redakteur: Hendrik Härter

Der EMV Scanner FLS 102 von Langer ist ein modular aufgebautes IC-Test-System zum automatischen Messen elektrischer und magnetischer Nahfelder über IC-Oberflächen, PINs und IC-Baugruppen.

Der EMV Scanner FLS 102 von Langer ist ein modular aufgebautes IC-Test-System zum automatischen Messen elektrischer und magnetischer Nahfelder über IC-Oberflächen, PINs und IC-Baugruppen. Die mit dem Scanner gemeinsam zum Einsatz kommenden Nahfeld-Mikrosonden arbeiten bis zu einer Frequenz von 3 GHz und haben eine Auflösung mit Spulendurchmessern bis 150 µm.

Aufgebaut ist der Scanner aus einem 4-Achs-Mover mit Halterungen für Mikrosonde und Videoinspektionsmikroskop. Automatische frei programmierbare Messalgorithmen gestatten das Fahren der Mikrosonde in 20 µm Höhe über der IC Oberfläche oder den PIN‘s. Der maximale Verfahrweg des Scanners beträgt 250 mm × 150 mm × 50 mm. Manuelle Sondenbewegungen erfolgen mit Grafik-Joystick. Das Gerät wird mit der Software ChipScan gesteuert und alle gewonnen Messdaten werden zwei- oder dreidimensional dargestellt.

Die Einsatzmöglichkeiten des Scanners reichen von der Nahfeldaufklärung über den offene oder geschlossenen IC während seiner Entwicklung bis zur Ermittlungen von EMV – Eigenschaften nach IEC 61967-3 (surface scan method) vor seinen Einsatz auf einen Baugruppe.

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