Semiconducter Foundry

Mehr als 2000 m2 neue MEMS-Reinraumfläche

| Redakteur: Gerd Kucera

Dr. Peter Merz, MEMS Business Unit Manager bei X-FAB: „Mit den neuen MEMS-Fabs sind wir für Volumenfertigung bestens aufgestellt und können die wachsende Nachfrage, die wir auf Kundenseite registrieren, bedienen.“
Dr. Peter Merz, MEMS Business Unit Manager bei X-FAB: „Mit den neuen MEMS-Fabs sind wir für Volumenfertigung bestens aufgestellt und können die wachsende Nachfrage, die wir auf Kundenseite registrieren, bedienen.“ (Bild: X-FAB)

Die Erweiterung der MEMS-Fertigungskapazitäten an den deutschen Standorten Erfurt und Itzehoe hat X-FAB erfolgreich fortgesetzt und damit einen wichtigen Meilenstein erreicht.

Aufgrund der hohen Nachfrage nach MEMS-Fertigungsdienstleistungen erweitert X-FAB die Reinraumfläche in zwei neuen MEMS-Fabriken, um insgesamt mehr als 2000 m². Zu den bei X-FAB gefertigten MEMS-Bauelementen gehören Drucksensoren, Mikrospiegel, Mikrofone und Mikrofluidiksysteme, die in mobilen, Konsumgüter-, medizinischen und automobilen Anwendungen zum Einsatz kommen. Kunden, die CMOS- und MEMS-Lösungen benötigen, haben gleichzeitig Zugriff auf X-FABs bestehende CMOS-Waferfabriken.

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„Die beiden Erweiterungen kommen zu einem interessanten Zeitpunkt, an dem der Markt für MEMS weiterhin wächst“, betonte Dr. Peter Merz, MEMS Business Unit Manager bei X-FAB.

In Erfurt wird X-FAB über neue Reinraumflächen von 1300 m² speziell für die MEMS-Fertigung verfügen, am selben Standort wie die bereits bestehenden CMOS- und MEMS-Fabs. Der neue Reinraum wird auf die Massenproduktion von 200-mm-MEMS-Prozessen ausgelegt. Die ersten Anlagen sollen im Dezember dieses Jahres installiert werden.

In Itzehoe zieht die MEMS-Fertigung von X-FAB in eine hochmoderne 1000 m2 große Fab um, die gemeinsam mit dem Fraunhofer ISIT, einem ebenfalls in Itzehoe ansässigen Forschungsinstitut für Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, genutzt wird.

Die neue 200-mm-Fabrik ermöglicht X-FAB die Erweiterung der Fertigungskapazitäten und der Prozessfähigkeiten. Darüber hinaus wird X-FAB auch die Kooperation mit dem Fraunhofer Institut im Bereich Fertigung & Entwicklung weiter ausbauen. Die Fab in Itzehoe wurde am 28. Mai 2014 offiziell eröffnet, die ersten Tools sind bereits installiert.

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Merz: „X-FAB bietet seinen Kunden eine große Vielfalt an CMOS-Prozessen für Analog/Mixed-Signal, Hochvolt- und Power-Anwendungen in besonderer Kombination mit einer breiten Auswahl an MEMS-Prozessfähigkeiten. Durch die Integration von MEMS und CMOS und die aktive Unterstützung beim Schnittstellen-Management auf allen Ebenen vereinfacht X-FAB den Supply-Chain-Prozess maßgeblich.“

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