Sensiron Massenherstellung von MEMS-Gas-Sensoren erstmals auf 8“-Wafern

Redakteur: Gerd Kucera

Die Schweizer Sensirion AG aus Stäfa hat einen Durchbruch in der Herstellung von MEMS-Gasfluss- und Differenzdruck-Sensoren erzielt. Eine Massenfertigung ist nun auf 8“-Wafern möglich.

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Die Gasfluss- und Differenzdruck-Sensoren der Schweizer Sensirion (CMOSens) werden seit einigen Jahren mit integrierter Intelligenz auf Siliziumbasis hergestellt. Die Produktion erfolgt im Rahmen eines Standard-CMOS-Prozesses. Die dabei in grossen Stückzahlen gefertigten Sensoren kommen weltweit mit grossem Erfolg in unterschiedlichen Produkten zum Einsatz.

Integrierter Selbsttest für Sicherheitsanwendungen

Nach nunmehr über 15 Jahren Forschung und Entwicklung konnte die Produktion auf 8“-Wafer-Handling erweitert werden. Dadurch können nun digitale Gasfluss- und Differenzdruck-Sensoren mit höchster Leistung in sehr grossen Volumina und zu attraktiven Preisen hergestellt werden. Möglich ist dies aufgrund der mehrfach patentierten CMOSens-Technik.

Mit dieser lassen sich in neuster Generation auf weiter reduzierter Halbleiterfläche integrierte intelligente Systeme unterbringen. Dank eingebauter Selbsttests lassen sich solche Sensoren unter anderem in sicherheitsrelevanten Anwendungen integrieren. Dazu gehören beispielsweise Medizintechnik oder die Steuerung von Gasbrennern.

Die ersten Gasfluss- und Differenzdruckprodukte mit den neuen Vorteilen der jüngsten CMOSens-Technikgeneration sollen ab dem vierten Quartal 2007 serienmäßig verfügbar sein.

Was Sie über die Sensirion AG wissen sollten

Sensirion AG ist Anbieter von Sensorelementen und -systemen auf CMOS-Basis mit Sitz in Stäfa in der Nähe von Zürich. Die Produktpalette umfasst Feuchte- und Temperatursensoren, Flussmesser und Flussregler von Gasen und Flüssigkeiten sowie Differenzdrucksensoren. Sensirion unterstützt internationale OEMs mit maßgeschneiderten Lösungen für verschiedene An-wendungen wie Gasflussregler, Gebäudeautomation, Medizintechnik und Konsumgüter. Alle Produkte nutzen die patentierte CMOSens-Technik.

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