Auswirkungen möglicher US-Handelssanktionen Lieferkettenbruch droht: ASML warnt vor China-Bann für DUV-Systeme

Von Michael Eckstein

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Sollte China keine DUV-Lithografiemaschinen zum Fertigen von Mainstream-ICs mehr kaufen dürfen, droht eine nachhaltige Unterbrechung der Halbleiterlieferkette – davor warnt der weltweit größte Chipfabrik-Ausrüster ASML.

Silizium-Wafer mit Belichtungsmasken: Bricht ohne den Verkauf von Lithografiemaschinen nach China die globale Halbleiterlieferkette zusammen?
Silizium-Wafer mit Belichtungsmasken: Bricht ohne den Verkauf von Lithografiemaschinen nach China die globale Halbleiterlieferkette zusammen?
(Bild: Paul Raats / ASML )

ASML ist aktuell der einzige Hersteller von EUV-Maschinen (Extrem Ultra-Violett) zum Belichten von Chipstrukturen im einstelligen Nanometerbereich. Doch einen Gutteil seines Umsatzes macht der niederländische Weltmarktführer für Lithografie-Automaten aus Veldhoven mit Deep-Ultra-Violett-(DUV-)Lithografiesystemen, die für die Massenproduktion von Mainstream-Chips ausgelegt sind – mit Technologieknoten von zum Beispiel 40, 45 oder 90 nm.

Sollten diese mit einem China-Handelsbann durch die US-Administration belegt werden – wie er bereits für die hochmodernen EUV-Anlagen besteht – drohe ein Bruch der globalen Halbleiter-Lieferketten, warnt ASML-CEO Peter Wennink im Gespräch mit dem asiatischen Nachrichtenmagazin NikkeiAsia: „Ich denke, wir müssen uns darüber im Klaren sein, dass China ein wichtiger Akteur in der Halbleiterindustrie ist, und zwar nicht nur im Bereich der so genannten ausgereiften Knoten, sondern auch bei den Mainstream-Halbleitern.“ Das Land sei ein bedeutender Lieferant für die globalen Märkte. „Wir müssen also vorsichtig sein, was wir tun.“

Ausweitung der US-Handelsbeschränkungen auf Deep-UV-Systeme?

Seit langem, in den letzten Monaten verstärkt, verschärfen sich die Spannungen zwischen Washington und Peking. Immer wieder würden amerikanische Politiker daher Pläne ins Gespräch bringen, die den Verkauf und die Lieferung von DUV-Lithografiesystemen nach China einschränken sollen. Diese Pläne setzen den niederländischen Chip-Fab-Ausrüster unter Druck.

DUV-Anlagen sind Lithografiemaschinen für die Massenproduktion von „Brot-und-Butter“-Chips, die weltweit in allen möglichen elektronischen Geräten stecken – vom Auto bis zur Zahnbürste. Ein Lieferverbot nach China für diese wichtigen Werkzeuge für die IC-Herstellung könne „Pekings Ambitionen im Halbleiterbereich einen schweren Schlag versetzen“, sagt Wennink.

China war im Jahr 2021 zum zweiten Mal in Folge der größte Käufer von Halbleiterausrüstungen, wobei die Ausgaben um 58 Prozent auf 29,62 Mrd. USD stiegen. Diese Zahl übertraf Südkoreas 24,98 Milliarden Dollar und 24,94 Milliarden Dollar in Taiwan, wie Daten des Branchenverbands SEMI zeigen. Die größten Chiphersteller Chinas, SMIC und Hua Hong Semiconductor, kontrollieren zusammen etwa 10 Prozent des Weltmarktes im Bereich der Auftragsfertigung von Chips.

Angesichts dieser Zahlen solle die Welt nicht die Tatsache ignorieren, dass China bereits heute über Kapazitäten zur Herstellung von Chips verfügt, die den globalen Elektronikmarkt versorgen, sagt Wennink. Wie NikkeiAsia mitteilt, hat der niederländische Außenminister gegenüber lokalen Medien bestätigt, dass die USA und die Niederlande die Angelegenheit erörtern.

Auftragsbücher voll, doch Lieferengpässe führen zu Verzögerungen

Nicht nur diese Entwicklung drückt die Stimmung bei ASML: Während der Konzern im abgelaufenen zweiten Quartal seinen Umsatz noch um ein gutes Drittel auf 5,4 Milliarden Euro und den Gewinn auf 1,4 Milliarden Euro steigern konnte – und damit die Erwartungen von Experten übertraf – hat er nun seine Erwartungen für den Jahresumsatz nach unten korrigiert. Statt eines Wachstums von rund 20 Prozent gibt das Unternehmen jetzt 10 Prozent an. Für das dritte Quartal prognostiziert ASML Umsätze zwischen 5,1 Milliarden und 5,4 Milliarden Euro – und damit deutlich weniger als von Analysten erwartet.

Das liegt allerdings nicht an einer schlechten Auftragslage. Diese ist im Gegenteil rosig: ASML verzeichnet Auftragseingängen in Rekordhöhe. Grund ist offenbar vielmehr ein schwerwiegender Engpass in der Lieferkette von Komponenten, die ASML für seine Maschinen benötigt. Dadurch würden sich die Endabnahme ausgelieferter Maschinen und damit die Umsatzbuchung in das kommende Jahr verschieben, weil dann die letzten Tests in den Fabriken der Kunden stattfänden. Der Wert der betroffenen Umsätze steige auf wohl 2,8 Milliarden Euro, teilte das Unternehmen mit.

Chip-Fertigungsanlagen werden wohl teurer

Hinzu kommt, dass ASMLs Chipanlagen wohl teurer werden. Das hat Wennink gegenüber AsiaNikkei angedeutet. Gründe dafür seien Kostensteigerungen bei Arbeit, Energie und Material. Sein Unternehmen sei „in Gesprächen mit Kunden und Lieferanten“. Man versuche gemeinsam einen „fairen Weg“ zu finden, um die Last der steigenden Kosten zu teilen. Diese beeinträchtigen die Bruttomarge des Unternehmens: ASML hat sie auf rund 50 Prozent gesenkt.

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Diese Aussagen kommen zu einer Zeit, in der auch ASMLs Großkunden Preiserhöhungen angekündigt haben: So wollen sowohl Intel als auch TSMC ihre Erzeugnisse demnächst teurer verkaufen. Für den weltgrößten IC-Auftragsfertiger TSMC wäre das bereits die zweite angekündigte Preisanpassung in weniger als einem Jahr.

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