IC Scanner Typ ICS 105

15.03.2013

Der IC Scanner Typ ICS 105 mit seinem Verfahrweg 50 x 50 x 50mm und seiner Schrittweite von 10µm ist entwickelt worden, um über ein offenen DIE kontaktlos messen zu können. Mittels einer ICR Nahfeldsonde ist eine HF-Feldmessungen bis 6GHz und einer Auflösung bis 50µm über den ...

Der IC Scanner Typ ICS 105 mit seinem Verfahrweg 50 x 50 x 50mm und seiner Schrittweite von 10µm ist entwickelt worden, um über ein offenen DIE  kontaktlos messen zu können. Mittels einer ICR Nahfeldmikrosonde ist eine HF-Feldmessungen bis 6GHz und einer Auflösung bis 50µm über den DIE möglich. Die ICR Mikrosonde kann in Richtung der drei Achsen bewegt und um die Hochachse gedreht werden. Positiniert wird die ICR Mikrosonde optisch mittels einer Mikroskopkamera und einem Prisma.