AOI-Systeme Inspektion großer Solarmodule mit Time Delay Integration

Redakteur: Gerd Kucera

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Die jüngste Generation der TDI-Kameratechnologie von Hamamatsu sind durch drei wichtigen Merkmale charakterisiert: hohe Aufnahmegeschwindigkeit, hohe Empfindlichkeit und hohe Auflösung. TDI steht für Time Delay Integration, womit der Hersteller eine Bildaufnahmetechnik auf Basis einer verbesserten Zeilenkamera bezeichnet, die eine höhere Empfindlichkeit per effektiver Aufnahmezeitverlängerung in Bezug auf eine Objektbewegung erzielt. Eine TDI-Kamera besteht aus mehreren aneinander gereihten Aufnahmezeilen, die synchron zur Objekt- bzw. Kamerabewegung die Ladungsträger in Bewegungsrichtung verschiebt und somit infolge einer zeilenweisen Mehrfachbelichtung die Signale aufintegriert. Diese Methode hat zur Folge, dass gleichmäßig schnell rotierende oder linear bewegte Objekte mit einer hohen Aufnahmeempfindlichkeit und ohne zu verwischen aufgezeichnet werden können. Werden dann noch die von Hamamatsu entwickelten Back-Thinned-TDI-Sensoren eingesetzt (die eine erheblich höhere Quanteneffizienz vom UV bis in den NIR erzielen), dann werden nach Herstellerangaben auch dort hervorragende Aufnahmeergebnisse erreicht, wo keine ausreichende Beleuchtung möglich ist oder die Objekteigenemission (beispielsweiseElektro- oder Photolumineszenz) detektiert werden soll. Denn gerade im Falle der Solarzellen- oder Modulinspektion per EL/PL-Messungen ist ein erweiterter Empfindlichkeitsbereich im NIR-Bereich unerlässlich. Aufgrund der Vorteile solcher TDI-Kameras gegenüber herkömmlichen 2-D-Modellen ist diese Technik im Industrieumfeld etabliert.

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