SuperVia: Auf dem Weg zum (Sub-)3nm-Technologieknoten

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Verbindungsglied: SuperVia verbindet zwei Metallschichten, ohne die Mittellage zu kontaktieren. Bild: imec
Verbindungsglied: SuperVia verbindet zwei Metallschichten, ohne die Mittellage zu kontaktieren.
Verbindungsglied: SuperVia verbindet zwei Metallschichten, ohne die Mittellage zu kontaktieren.