Bosch Sensortec steigt in 10 Jahren zum Marktführer für MEMS-Sensoren auf

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Bausteine fur die vernetzten Welt: Das Bild eines Rasterelektronenmikroskops(REM) zeigt die feinen geatzten Silizium-Strukturen einesBeschleunigungssensors von Bild: Bosch
Bausteine fur die vernetzten Welt: Das Bild eines Rasterelektronenmikroskops(REM) zeigt die feinen geatzten Silizium-Strukturen einesBeschleunigungssensors von Bosch. Zum Grosenvergleich liegt einmenschliches Haar auf der Struktur. Die Silizium-Strukturen in der Mittedes Chips messen die Beschleunigung oder Neigung in allen dreiRaumrichtungen. Die einzelnen Balkeng sind rund 2 Mikrometer (ƒÊm)breit und 20 Mikrometer hoch. Ein Mikrometer ist der tausendste Teileines Millimeters (0,001 Millimeter).
Bausteine fur die vernetzten Welt: Das Bild eines Rasterelektronenmikroskops(REM) zeigt die feinen geatzten Silizium-Strukturen einesBeschleunigungssensors von