Bild 1: Schema des 3D-Dünnfilmakkus (links); beschichtete 3D-Micropillar-Strukturen (rechts). Die Pillars haben einen Durchmesser und Abstände
Bild 1: Schema des 3D-Dünnfilmakkus (links); beschichtete 3D-Micropillar-Strukturen (rechts). Die Pillars haben einen Durchmesser und Abstände von 2 µm. ( Bild: Imec )