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Grüner Laser erlaubt feinere Strukturen

| Redakteur: Dr. Anna-Lena Gutberlet

Die precSYS 5-Achs-Systeme ermöglichen die industrielle Ultrakurzpulslaser-(UKP)-Mikrobearbeitung von flexibel einstellbaren Geometrien mit hohem Aspektverhältnis.

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Das precSYS 515 Mikrobearbeitungssystem ist ausgelegt für eine Laserstrahlung von 515 nm
Das precSYS 515 Mikrobearbeitungssystem ist ausgelegt für eine Laserstrahlung von 515 nm
(Bild: Scanlab )

Für die Elektronikindustrie, insbesondere die Fertigung von Probe Cards, ist die Verfügbarkeit eines für 515 nm Laserstrahlung ausgelegten Systems, das die Erzeugung noch feinerer lateraler Strukturen erlaubt, besonders interessant.

Derkontinuierliche technische Fortschritt im Bereich der Konsumgüterelektronik und im Maschinenbau bringt zahlreiche Veränderungen in der Fertigung von elektronischen Bauteilen, wie beispielsweise Leiterplatten, Steuerungselementen und Sensoren, mit sich. Ein relativ neuer Markt für Laserprozesse ist dabei die Herstellung von Probe Cards, die als Hilfsmittel zum Testen integrierter Schaltkreise dienen. Diese Probe Cards stellen höchste Ansprüche an die Laserbearbeitungsmaschinen für Mikrostrukturierungsanwendungen.

Um genau diese Anforderungen noch besser bedienen zu können, erweitert SCANLAB die precSYS Produtkfamilie um ein System, das auf einen grünen Laser mit einer Wellenlänge von 515 nm ausgelegt ist. Im Vergleich zu Infrarotlasern mit 1030 nm wird somit genau die halbe Wellenlänge eingesetzt, was zu einer deutlich geringeren Laserspotgröße führt, mit der anspruchsvolle Materialien lateral noch genauer bearbeitet werden können. Bei gleichem Öffnungswinkel des Laserstrahls können größere Aspektverhältnisse erzielt werden.

Alle precSYS Scan-Lösungen sind galvobasierte 5-Achs-Subsysteme für die Integration in Lasermaschinenkonzepte. Dank der vielfältigen Positioniermöglichkeiten des Laserstrahls (in x-, y-, z-, α-, β-Richtung) bieten diese Scan-Köpfe höchste Flexibilität bei der Entwicklung von neuen Prozessstrategien. Für die Bearbeitung können sowohl kreis-, ellipsen- oder linienförmige Bahnen in 2D oder 3D definiert werden.

In der gesamten Produktfamilie wird ab sofort ein neues Regelungskonzept eingesetzt, welches noch höhere Rotationsfrequenzen und Bearbeitungsgeschwindigkeiten bei Bohrvorgängen erlaubt. Die aktuelle Version der DrillControl Software unterstützt beide Varianten des precSYS, so dass auch bestehende Bearbeitungsjobs weiter genutzt werden können. Erste Systeme des precSYS 515 sind ab dem 4. Quartal 2019 bestellbar.

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