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Halbleiter-Durchflusssensor Für Flüssigkeiten und Gase

| Redakteur: Gerd Kucera

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(Bild: IDT)

Integrated Device Technology erweitert seine MEMS-basierten Durchflusssensormodule (Vertrieb der Bauteile über Macnica): Das Solid-State-Sensorelement-Design eliminiert Hohlräume und Membrane, verfügt über eine schützende Siliziumkarbid-Beschichtung und genügt den Anforderungen der Lebensmittelindustrie. IDT FS1012 und FS2012 sind digitale Durchfluss-Sensormodule für Flüssigkeiten und Gase. Die Sensoren haben keine beweglichen Teile, keine zerbrechliche Membran über einen Hohlraum und weisen eine Schicht aus Siliziumkarbid-Beschichtung auf. Dies beseitigt verstopfte Sensorelemente und Flüssigkeitsdruckempfindlichkeit, sorgt für eine hohe Stoßfestigkeit und verhindert, dass Chemikalien das Sensorelement beschädigen. Besonders geeignet sind die Sensoren laut Hersteller für den Einsatz in medizinischen, industriellen und FDA-kompatiblen Lebensmittel-Konsum-Anwendungen, wo Zuverlässigkeit, Robustheit und Kreuzkontamination kritische Faktoren sind. Die Durchflusssensormodule bieten eine Genauigkeit von bis zu 2% des Messwertes und sorgen für eine hohe Präzision in Hoch- oder Niedrigströmungssituationen mit dem gleichen Sensormodul.

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