Brandbeschleuniger für die Chipkrise? Feuer bei ASML: EUV-Komponenten betroffen

Von Michael Eckstein

Der niederländische Konzern ASML ist ein Flaschenhals für die globale Chipproduktion. Nun hat es ausgerechnet in einem Werk des Quasi-Monopolisten für Lithografie-Maschinen gebrannt. Ob dies den Chipmangel weiter verschärft, ist noch unklar. Ein Update.

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Innenansichten: Die hochmodernen EUV-Scanner und Lithografie-Maschinen von ASML stehen in praktischen allen Hightech-Chipschmieden dieser Welt.
Innenansichten: Die hochmodernen EUV-Scanner und Lithografie-Maschinen von ASML stehen in praktischen allen Hightech-Chipschmieden dieser Welt.
(Bild: ASML)

Update vom 17. Januar 2022: Nach dem Brand in seinem Werk in Berlin am 3. Januar hat hat ASML eine vorläufige Bewertung der Auswirkungen vorgenommen.

Demnach ereignete sich der Brand in einem Teil eines Produktionsgebäudes auf dem Gelände. Im betroffenen Werksteil sei unter anderem die Produktion von Wafer-Klemmen untergebracht – einem Modul für die stark nachgefragte EUV-Anlagen, die mit ihrem extrem ultravioletten Licht die Fertigung hochmoderner Logikchips mit kleinsten Prozessknoten unterhalb von 10 nm erst möglich machen. „Wir sind dabei, den Wiederherstellungsplan für diesen Produktionsbereich zu vervollständigen und zu bestimmen, wie wir mögliche Auswirkungen für unsere EUV-Kunden minimieren können, sowohl in unserem Produktionsplan als auch in unserem Außendienst“, teilte ASML mit.

Produktion von DUV-Komponenten läuft wieder

Durch die Rauchentwicklung sei auch ein angrenzendes Gebäude beeinträchtigt worden. Hier habe man die Produktion von DUV-Komponenten (deep ultraviolet)mittlerweile in Teilen wieder aufnehmen können. „Obwohl es bei den DUV-Komponenten zu einigen Unterbrechungen kam, gehen wir davon aus, dass diese so behoben werden können, dass sie unsere Produktions- und Umsatzplanung für DUV nicht beeinträchtigen, erklärte das Unternehmen.

Die anderen Gebäude auf dem Gelände wurden nicht in Mitleidenschaft gezogen und sind voll funktionsfähig. Zudem seien auch die Produktionspläne für Messtechnik und Inspektionsausrüstungen nicht betroffen, da sie keine in Berlin hergestellten Komponenten enthalten.

Ursprüngliche Meldung vom 4. Januar 2022: Ein Brand im Berliner Werk des Technologieunternehmens ASML hat Montag die Anleger an den Börsen verunsichert – und sicher auch etliche Vorstände globaler Chipfertiger und Elektronik verarbeitender Unternehmen weltweit. Nicht ohne Grund, schließlich ist ASML einer der weltweit wenigen Anbieter von Lithografie-Anlagen, mit denen bei der Halbleiterfertigung Schaltkreisstrukturen auf Wafer belichtet werden – und ohne die keine Produktion von Mikrochips möglich ist.

Es steht die Befürchtung im Raum, dass sich Lieferengpässe bei Halbleitern durch den Brand verschärfen könnten – zumal ASML bereits stand heute der hohen Nachfrage nach seinen Hightech-Maschinen kaum hinterherkommt. Der Konzern teilte mit, dass man erst in einigen Tagen sagen könne, ob der Brand in dem Werk im Berliner Stadtteil Britz Folgen für die Jahresproduktion habe. Bis zu seiner Übernahme durch ASML im Jahr 2020 war hier das Unternehmen Berliner Glas ansässig.

Brandursache und -auswirkungen noch unklar

Nach Angaben von ASML war das Feuer in der Nacht zum Montag ausgebrochen. Wie die Feuerwehr der dpa gegenüber mitteilte, war lediglich ein Teil des Werks vom Feuer betroffen. Konkret sei eine automatische Reinigungsanlage auf etwa 200 Quadratmetern in Brand geraten.

Insgesamt ist der Berliner Standort rund 32.000 Quadratmeter groß. Nach Angaben von ASML arbeiten hier etwa 1.200 Menschen für das Unternehmen und fertigen unter anderem Komponenten für die großen Lithografie-Anlagen, zum Beispiel Wafer-Tische und -Klemmen, hochgenaue Halterungen für Belichtungsmasken und Spiegelblöcke. Die großen und teuren Lithografie-Maschinen – auch Stepper oder Scanner genannt – sind zentrale Bestandteile in den Chipfabriken etwa von Intel, TSMC, Samsung, Globalfoundries oder auch Infineon, Bosch, NXP und STMicroelectronics.

ASML profitiert von weltweiter Halbleiterkrise

Die derzeitige anhaltende Chipkrise spielt Europas Weltkonzern, den außerhalb der Elektronikbranche kaum jemand kennt, in die Hände: Praktisch alle Halbleiterproduzenten haben angekündigt, ihre Produktionskapazitäten über die nächsten Jahre hinweg massiv ausbauen zu wollen.

ASML rechnet damit, dass besonders Maschinen für EUV-Lithografie, die mit kurzwelligem, extrem-ultraviolettem Licht arbeiten, stark nachgefragt werden. Diese sind für die Massenproduktion moderner Logikchips mit Prozessknoten unterhalb von 10 nm essenziell. Nach Angaben des Konzerns hat der Erlös mit EUV-Maschinen im Jahr 2020 um rund 60 Prozent auf 4,5 Milliarden Euro zugelegt.

An der Börse zählt ASML seit Jahren zu den Lieblingen – allein im letzte Jahr legten die Aktien der Niederländer um gut 70 Prozent zu, und seine Auftragsbücher sind auf Jahre ausgebucht. Trotzdem sorgte die Nachricht des Feuers für Verunsicherung, der Kurs des Unternehmens gab zeitweise deutlich nach.

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