Massenflussmesser

Die Flussraten von Luft und anderen nicht-aggressiven Gasen messen

| Redakteur: Hendrik Härter

Mit der Plattform SFM3xxx lässt sich der Massendurchfluss von Luft und anderen nicht-aggressiven Gasen präzsie messen.
Mit der Plattform SFM3xxx lässt sich der Massendurchfluss von Luft und anderen nicht-aggressiven Gasen präzsie messen. (Bild: Sensirion)

Die SFM3xxx-Plattform von Sensirion besteht aus insgesamt fünf Massenflussmessern. Die vollständig kalibrierten und temperaturkompensierten Sensoren messen die Flussraten von Luft und anderen nicht-aggressiven Gasen bidirektional. Im Gaskanal des Sensors befindet sich ein Temperatursensor, was den Einbau eines zusätzlichen Temperatursensors erübrigt. Dank des geringen Druckabfalls im Strömungskörper eignet sich der Sensor für die medizinische Beatmung und andere respiratorische Anwendungen. Sensor und Auswerteelektronik befinden sich auf einem CMOS-Siliziumchip.

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