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Temperatur-, Oberflächen- oder Positionsmessung 5 Beispiele aus der Messtechnik-Welt

| Redakteur: Dipl.-Ing. (FH) Hendrik Härter

Die Welt der Messtechnik ist spannend und vielfältig. In unseren kleinen Geschichte stellen wir ihnen 5 verschiedene messtechnische Lösungen vor. Unter anderem einen XY-Messtisch oder ein Miniatur-Thermometer für den Ex-geschützen Bereich.

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Messdaten erfassen und visualisieren. In der Messtechnik kommt Hard- und Software zum Einsatz, um physikalische Parameter auzuwerten. Im Bild die Software von Astro-Med.
Messdaten erfassen und visualisieren. In der Messtechnik kommt Hard- und Software zum Einsatz, um physikalische Parameter auzuwerten. Im Bild die Software von Astro-Med.
(Astro-Med)

Mittlerweile lassen sich Messdaten auch via Smartphone aufnehmen. Doch klassischer Weise werden in der Messtechnik physikalische Parameter wie die Temperatur mit einem Thermometer aufgenommen. Wir haben fünf aktuelle Beispiele zusammen getragen.

Der MCS Kreuztisch von PI miCos
Der MCS Kreuztisch von PI miCos
(PI miCos)
Bei Topologiemessungen an Werkstücken und Optiken oder Strukturmessungen an Halbleiterwafern kann der XY-Messtisch von PI miCos eingesetzt werden. Er vereint hohe Führungs- und Positioniergenauigkeit mit Traglasten bis 20 kg. Dadurch lassen sich weitere Achsen für Drehverstellern, Hubmodulen und Kippverstellern auf der Plattform realisieren.

Seine Leistungsmerkmale erhält das MCS-System durch die gezielte Zusammenführung von mechanischen und elektronischen Präzisionskomponenten. Mit einem optional erhältlichen Linearencoder, basierend auf einem interferometrischen Wegmesssystem erreicht der MCS eine Auflösung von 5 Nanometern bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,2 µm und einer Positioniergenauigkeit von 3 µm auf den gesamten Stellweg von 102 mm je Achse. Geringe Geradheits- und Ebenheitsabweichungen in der XY-Bewegungsebene von unter 2 µm sprechen für die hohe Präzision des Systems.

Der MSC wird wahlweise von DC-Motoren, Schrittmotoren oder magnetischen Linearmotoren angetrieben. Im System mit einem SMC Hydra Motion Controller von PI miCos erreicht der Kreuztisch einerseits Geschwindigkeiten von bis zu 200 mm/s andererseits ist er in der Lage, sich mit Geschwindigkeiten von weniger als 1 µm/s konstant zu bewegen.

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